Госкорпорация "Роснанотех" создана в соответствии с федеральным законом от 19 июля 2007 года для "реализации государственной политики в сфере нанотехнологий, развития инновационной инфраструктуры в сфере нанотехнологий, реализации проектов создания перспективных нанотехнологий и наноиндустрии". Действует в форме некоммерческой организации, но при этом выведена из-под обычного порядка контроля НКО (контроль над ней осуществляет правительство). Также на нее не распространяется действие закона о банкротстве. Имущество "Роснанотеха" формируется за счет взноса государства и других "добровольных имущественных взносов и пожертвований". В конце 2007 года правительство перечислило корпорации 132 млрд руб. Органами управления являются наблюдательный совет (по пять членов от президента и правительства, по двое — от обеих палат парламента), правление (девять членов, назначаемых наблюдательным советом) и гендиректор (назначается на пять лет президентом).