Оборудование загрузят на полигон
В РФ строят инфраструктуру для ускорения выпуска фотолитографов
Минпромторг, Минобрнауки, производители полупроводников и профильные вузы реализуют проект по строительству в РФ сети полигонов для тестирования оборудования для производства микроэлектроники, которое находится в разработке. Новая инфраструктура также нужна для обучения специалистов. Строительство одного полигона с учетом затрат на сложную инженерную инфраструктуру может стоить около 5 млрд руб. По оценке экспертов, использование тестовых полигонов примерно на год ускорит начало серийного выпуска установок.
Фото: Эмин Джафаров, Коммерсантъ
Фото: Эмин Джафаров, Коммерсантъ
Проректор Национального исследовательского университета «Московский институт электронной техники (МИЭТ)» Алексей Переверзев рассказал “Ъ”, что планируется реконструкция и техническое перевооружение одного из корпусов вуза. По итогам работ он будет оснащен инженерной инфраструктурой, на базе которой появится технологический полигон.
Речь идет о реконструкции завода «Протон», где планируется предусмотреть «инфраструктуру для возможности размещения технологического, научного и контрольно-измерительного оборудования», уточнили в Минпромторге.
Это могут быть фотолитографические установки, анализаторы цепей, степперы и другие единицы оборудования, которые входят состав технологических маршрутов микроэлектронных и СВЧ-электронных производств, пояснил глава консорциума «Базис» Арсений Брыкин. Собеседник в одном из производителей полупроводников добавляет, что полигон должен быть оборудован инфраструктурой, необходимой для подачи особо чистых жидкостей, химии, газов: «Это, например, трубы со специфической поверхностью, установки очистки воды».
«Полигон является площадкой для разработки и трансфера базовых технологических процессов на основе нового оборудования и подготовки инженерных и научных кадров совместно с индустриальными и академическими партнерами»,— сказал “Ъ” господин Переверзев. По его словам, каждая единица оборудования будет иметь цифровой двойник для сокращения цикла разработки и аттестации технологических процессов. «Организация виртуальных технологических линий позволит увеличить объемы подготовки специалистов в области электронного машиностроения, процессов и технологий электронной компонентной базы»,— добавил Алексей Переверзев.
Источник “Ъ”, знакомый с деталями проекта, говорит, что полигон будет запущен осенью 2026 года.
Собеседник “Ъ” в одном из производителей полупроводников уточняет, что подобные полигоны планируется построить также в Санкт-Петербурге и на базе фрязинского АО «НПП "Исток" имени А. И. Шокина». По его словам, стоимость только инженерной инфраструктуры составляет около 1,7 млрд руб.— это 30–40% затрат. Таким образом, полная стоимость одного полигона может составлять 4,2–5,6 млрд руб. Строительство, говорит источник “Ъ”, идет в рамках федерального проекта «Подготовка кадров и научного фундамента в электронной промышленности», курируемого Минобрнауки. Там “Ъ” не ответили.
Разработка и экспериментальные запуски оборудования для производства микроэлектроники вне помещений, где идет серийное производство,— стандартная практика: ITRI на Тайване, IBM в США, CEA-Leti во Франции имеют аналогичные чистые комнаты, специализированные для R&D-машиностроителей, поясняют в «Микроне»: «Мы считаем формат правильным и заинтересованы в появлении таких полигонов».
Сегодня оборудование для полупроводниковой и радиоэлектронной индустрии разрабатывает ряд российских предприятий по заказу Минпромторга. Например, в ноябре 2021 года Зеленоградский нанотехнологический центр выиграл тендеры на 5,7 млрд руб. на создание фотолитографической установки, способной работать по нормам до 130 нм, и на 985 млн руб. на разработку установки под 350 нм. Соисполнителями выступают «Лассард» и белорусский «Планар», следует из конкурсной документации (см. “Ъ” от 11 ноября 2021 года). CNews в начале июля, ссылаясь на тендерную документацию, писал, что Минпромторг объявил пять новых конкурсов в целом на 9,2 млрд руб. на проведение опытно-конструкторских работ (ОКР) по освоению технологий и созданию промышленных установок для выпуска микросхем по топологиям 250–65 нм.
Гендиректор Зеленоградского нанотехнологического центра Анатолий Ковалев объяснил “Ъ”, что полигон решает проблему отладки и тестирования оборудования: «Если тестировать и донастраивать установки на действующих российских полупроводниковых заводах, которых в стране не так много, то придется нарушать технологические процессы, останавливать производство». По словам господина Ковалева, использование тестовых полигонов примерно на год ускорит начало серийного выпуска установок.